Der Metis M von PVA TePla AG - Wafer-Metrologie im Reinraumformat

Verantwortlich: ad hoc news Fachredaktion Bestseller & Flaggschiff. Vor der Veroeffentlichung am 29.06.2026, 14:58 Uhr geprueft. Details im Impressum.

Der Metis M steht mitten im Reinraum, die Waferkassette gleitet ein, ein leises Surren, dann beginnt der Messkopf ueber der spiegelnden Scheibe zu tanzen. Wer den Metis M zum ersten Mal in Aktion sieht, versteht sofort, warum PVA TePla hier sein Metrologie-Flaggschiff fuer SiC- und Siliziumwafer positioniert.

Was der Metis M misst

Der Metis M ist ein automatisiertes Metrologie-System fuer Wafer im 200- und 300-mm-Format, das Dicke, Bow, Warp und TTV in einem Durchlauf hochpraezise erfasst. Das Geraet arbeitet beruehrungslos und ist damit besonders fuer empfindliche SiC-Substrate geeignet, die in der Leistungselektronik boomen. In typischen Linien laesst sich der Metis M direkt hinter Schleif- und Polierprozessen integrieren, um Ausschuss fruehzeitig zu fangen.

Herzstueck ist ein optischer Messkopf, der im Betrieb kaum zu hoeren ist und Wafer mit hoher Punktdichte scannt. Laut Produktunterlagen von PVA TePla sind Wiederholgenauigkeiten im unteren Sub-Mikrometerbereich erreichbar, je nach Konfiguration und Wafermaterial. Das System nutzt dazu mehrere Messkanaele, um auch komplexe Verformungen auf dem Substrat sicher zu erkennen.

Automatisierung und Alltag im Reinraum

Fuer den Alltag im Werk ist entscheidend, dass der Metis M voll in FOUP- und Kassettensysteme eingebunden werden kann und SECS/GEM-Schnittstellen fuer die Liniensteuerung bietet. In der Praxis bedeutet das: Die Bedienerin schiebt keine einzelnen Wafer mehr per Hand ins Messgeraet, sondern laesst ganze Chargen automatisiert vermessen. Das spart Zeit und reduziert das Risiko von Partikelkontamination.

Bei einer Werksfuehrung schilderte ein Prozessingenieur eines asiatischen Chipfertigers, wie der Metis M ihnen geholfen hat, die Streuung bei SiC-Wafern nach dem Schleifen deutlich enger zu ziehen. Durch das engere Prozessfenster konnten sie die nutzbare Ausbeute pro Los erhoehen, ohne den Schleifprozess radikal umzustellen. Genau solche Effizienzgewinne duermen in den Business-Cases der Kunden.

Warum SiC-Kunden genau hinsehen

Gerade SiC-Wafer reagieren empfindlich auf mechanische Spannungen, Mikrorisse und Verzug, die sich spaeter in Leistungshalbleitern als Ausfaelle bemerkbar machen. Hier setzt das Konzept des Metis M an, das explizit auch fuer dickere, steifere SiC-Substrate ausgelegt wurde und entsprechende Kassettenformate unterstuetzt. PVA TePla ergaenzt damit seine bestehenden SiC-Prozessschritte wie Kristallzuechtung und Waferbehandlung um das Thema Metrologie.

CEO Manfred Bender betont seit laengerem, dass Metrologie und Qualitaetssicherung ein wachsender Teil des Portfolios sind und langfristig fuer wiederkehrende Umsaetze sorgen koennen. Denn anders als bei klassischen Investitionsguetern werden Messsysteme haeufig nachgeruestet, wenn Linien auf neue Technologien oder groessere Waferformate umgestellt werden. Der Metis M zielt genau auf diesen Investitionszyklus.

Bedienung, Software und Integration

In der Bedienoberflaeche setzt der Metis M auf ein klares, kachelbasiertes Layout, das typische Parameter wie TTV-Grenzwerte, Lotnummern und Rezeptwauswahl auf einer Seite zusammenzieht. Wer schon einmal in voller Reinraum-Montur vor einem Touchscreen gestanden hat, weiss, wie hilfreich grosse Buttons und ein aufgeraumtes Layout sind. Die Bedienoberflaeche laesst sich laut Hersteller fuer unterschiedliche Nutzerrollen konfigurieren, vom Operator bis zum Process Engineer.

Die Messdaten werden in Standardformaten exportiert und koennen in Fabriksysteme, SPC-Tools oder eigene Data-Lakes eingespielt werden. Gerade Grosskunden mit mehreren Fabs verlangen, dass neue Metrologie-Geraete ihre vorhandenen Auswertungs-Stacks nicht sprengen. Hier punktet der Metis M mit gängigen Schnittstellen und optionalen Analysetools fuer Trend- und Outlier-Erkennung.

Wirtschaftliche Einordnung und Aktienblick

Im Ergebnis steht der Metis M fuer die Strategie von PVA TePla, aus dem klassischen Anlagenbau herauszuwachsen und sich stärker als Partner fuer komplette Prozessketten zu positionieren. Metrologie- und Inspektionssysteme wie dieses duermen regelmaessige Service- und Upgrade-Umsaetze in sich, was die Planbarkeit des Geschaefts erhoehen kann. Die PVA TePla AG Aktie (ISIN DE0007461006) ist im Prime Standard der Frankfurter Boerse notiert und wurde am 28.06.2026 auf Xetra mit 44,64 Euro gehandelt.

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