Mehr Power für die Chipfabriken - wie das ASML Twinscan NXT 2100i an der Grenze der DUV-Lithografie arbeitet

Verantwortlich: ad hoc news Fachredaktion Zubehoer & Komponenten. Vor der Veroeffentlichung am 17.06.2026, 16:18 Uhr geprueft. Details im Impressum.

Mit dem ASML Twinscan NXT 2100i steht in modernen Fabs ein unscheinbarer Riese, der 300-mm-Wafer mit hoher Geschwindigkeit und Präzision belichtet. Wer daneben steht, hört das tiefe Surren der Mechanik, spürt die Vibration der Luftsysteme - und ahnt, wie viel Fertigungsdruck hier kanalisiert wird.

Was das Twinscan NXT 2100i leisten soll

Das Twinscan NXT 2100i ist ein 193-nm-Immersionsscanner für 300-mm-Wafer, der auf ASMLs NXT-Plattform aufbaut und speziell für High-Volume-Manufacturing jenseits der allerfeinsten EUV-Knoten ausgelegt ist.

Im Zentrum steht eine hochdynamische Stagen-Plattform, die Belichtung und Wafer-Handling parallelisiert, um hohe Durchsätze bei enger Überlagerungsgenauigkeit zu erreichen.

Technik im Maschinenraum

Technisch kombiniert das System eine ArF-Immersionsoptik mit fortgeschrittener Overlay-Kontrolle und Moduloptionen wie High Productivity- und High Accuracy-Paketen, die je nach Foundry-Bedarf konfiguriert werden.

In der Praxis erlaubt das eine flexible Nutzung über mehrere Technologieknoten hinweg, etwa für Logik, DRAM oder Spezialprozesse, ohne jedes Mal in eine neue Plattform investieren zu müssen.

Stärken im Fertigungsalltag

Für die Linienverantwortlichen zählen vor allem Durchsatz und Stabilität: Das System ist auf hohe Wafer-pro-Stunde-Raten bei kontrollierter Partikel- und Temperaturführung ausgelegt, was Ausschuss reduziert und Planbarkeit erhöht.

Gleichzeitig ergänzen Diagnose- und Kalibrationsroutinen den Alltag, etwa automatische Fokus- und Overlay-Checks, die sich in die MES- und APC-Landschaften moderner Fabs einklinken lassen.

Wo die Grenzen liegen

Gegenüber EUV-Systemen wie der NXE- oder EXE-Reihe bleibt die strukturelle Auflösung von 193-nm-DUV begrenzt, auch wenn Mehrfachbelichtungen und OPC-Optimierungen das Fenster nach unten erweitern.

Diese Multimasken-Ansätze erhöhen jedoch Komplexität und Zykluszeit, sodass Foundries sorgfältig abwägen, welche Layer noch mit DUV gefahren und welche auf EUV migriert werden.

Rolle im ASML-Portfolio

Innerhalb des Portfolios dient das Twinscan NXT 2100i als Arbeitspferd für Knoten, bei denen EUV wirtschaftlich oder technisch nicht zwingend ist, und stabilisiert so Umsatz und Servicegeschäft neben den margenstärkeren EUV-Tools.

Serviceverträge, Upgrades und Ersatzteilpakete auf Basis der NXT-Plattform sorgen für wiederkehrende Erlöse, die die zyklische Nachfrage nach Neusystemen teilweise abfedern.

Wie es in die Branche passt

Die Nachfrage nach DUV-Scannern bleibt durch Automotive, Industrie-Controller, Power-Chips und Bildsensoren hoch, selbst wenn Top-Foundries bereits aggressiv in EUV-Kapazitäten investieren.

Damit bleibt das Twinscan NXT 2100i ein wichtiges Werkzeug in der Balance zwischen modernsten Knoten und dem riesigen Volumengeschäft klassischer Technologien.

Kurzer Blick auf das Unternehmen und die Aktie

ASML Holding N.V. dominiert den Markt für High-End-Lithografie und koppelt mit Systemen wie dem Twinscan NXT 2100i DUV-Geschäft, Service und EUV-Expansion zu einem breiten Technologie- und Erlösfundament.

Die Aktie von ASML Holding N.V. (NL0010273215) notierte laut finanzen.at am 12.06.2026 auf Xetra bei 1.612,00 Euro.

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