VAT Millichannel Valve: Schlüsselkomponente für moderne Vakuumprozesse

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Mit dem VAT Millichannel Valve adressiert die VAT Group anspruchsvolle Vakuumprozesse, bei denen eine extrem feinfühlige Gaszufuhr entscheidend ist. Das Spezialventil ist für sogenannte Millikanal-Anwendungen ausgelegt, in denen Gasströme im Millikanal- und Submillikanal-Bereich kontrolliert werden müssen, etwa in der Halbleiterfertigung oder bei präzisen Oberflächenprozessen. Statt großer Stellwege setzt das Millichannel Valve auf viele kleine, exakt definierte Kanäle, um den Durchfluss reproduzierbar einzustellen. Für deutsche Industriekunden ist diese Art von Ventil vor allem dort interessant, wo Prozessfenster eng sind und Ausschuss direkt in Geld gemessen wird.

Was das VAT Millichannel Valve auszeichnet

Laut Produktinformationen der VAT Group ist das Millichannel Valve für den Einsatz in Hoch- und Ultrahochvakuum-Systemen konzipiert, in denen sowohl geringe Leckraten als auch eine sehr stabile Charakteristik über viele Schaltzyklen gefordert sind. Typische Einsatzfelder sind Prozesskammern für Ätz- und Beschichtungsprozesse, in denen verschiedene Gase in kleinsten Mengen zugesetzt werden, um Schichtdicken, Ätzraten oder Oberflächenreaktionen exakt zu steuern. Im Unterschied zu klassischen Pendel- oder Klappenventilen arbeitet ein Millichannel-Ventil mit mehreren parallelen Mikrokanälen, sodass sich die Gasmenge über die Anzahl aktivierter Kanäle sehr fein skalieren lässt. Das Resultat ist eine höhere Reproduzierbarkeit von Prozessbedingungen, was vor allem bei Mehrlagenstrukturen in der Chipproduktion eine zentrale Rolle spielt.

Die VAT Group betont, dass das Millichannel Valve auf Langzeitstabilität ausgelegt ist und in Reinraumumgebungen der Halbleiterindustrie einsetzbar ist. Dazu kommen Materialien mit geringer Ausgasung sowie Dichtkonzepte, die Partikelbildung minimieren und den Einfluss auf die Prozesskammer so gering wie möglich halten. Die Ansteuerung kann typischerweise in bestehende Steuerungssysteme integriert werden, sodass Anlagenbauer die Ventile ohne grundlegende Systemänderung in neue oder bestehende Anlagen einbinden können. Damit passt sich das Produkt in die modulare Systemlandschaft vieler OEMs ein, die komplette Prozesslinien an Chipfertiger, Displayhersteller oder andere Hightech-Industrien liefern.

Konkrete Listenpreise veröffentlicht die VAT Group für ihre Industrieventile üblicherweise nicht öffentlich, da Ausführung, Stückzahl, Dichtwerkstoffe und Schnittstellen stark applikationsabhängig sind. Für deutsche und europäische Kunden erfolgt die Preisgestaltung in der Regel projektspezifisch über Angebot und Rahmenvertrag, häufig eingebettet in größere Anlagenprojekte der Halbleiter- oder Vakuumindustrie. Vertrieb und technische Beratung laufen über den internationalen Vertriebsapparat der VAT Group, der in Europa eigene Vertriebs- und Serviceeinheiten für OEM-Kunden und Betreiber größerer Vakuumlinien vorhält. Für kleinere Stückzahlen oder Ersatzbeschaffungen können spezialisierte Vakuumhändler eingebunden sein, die Komponenten nach Spezifikation beschaffen.

Im Produktportfolio der VAT Group nimmt das Millichannel Valve die Rolle einer hochspezialisierten Komponente ein, die andere Ventillösungen wie Pendelventile, Butterfly-Ventile und Schnellschieber ergänzt. Während Produkte wie die bekannten VAT Gate Valves bei vielen Vakuumanwendungen als Standard gelten, zielt das Millichannel-Segment auf Prozessschritte, bei denen die Gasfeindosierung unmittelbar über Qualität und Ertrag entscheidet. Damit adressiert das Unternehmen die wachsende Nachfrage der Halbleiterindustrie nach noch engeren Prozessfenstern, etwa bei Strukturgrößen im einstelligen Nanometerbereich oder bei High-k-Dielektrika und komplexen Mehrschichtsystemen. Auf Portfolioebene stärkt das Millichannel Valve die Position der VAT Group als Komplettanbieter von Vakuumventilen entlang der gesamten Prozesskette.

Für die VAT Group ist das Geschäft mit Vakuumventilen für die Halbleiterindustrie der wichtigste Umsatzträger, und Speziallösungen wie das Millichannel Valve zahlen auf diese Positionierung ein. Die Aktie der VAT Group (CH0311864901) notiert auf SIX Swiss Exchange; zuletzt wurden auf Xetra am 11.06.2026 Kurse um 520 Euro gemeldet.

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